北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线
2024-01-11北方华创最近研发出了一款12英寸高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备，名为Orion Proxima，并已正式进入客户端验证阶段。这一创新标志着北方华创在绝缘介质填充工艺技术上取得了重大突破，同时也为该公司进军12英寸介质薄膜设备领域，打开百亿级市场铺平了道路。 随着集成电路领域的飞速发展，芯片制造工艺面临着越来越大的挑战。其中，如何使用绝缘介质在各薄膜层之间进行均匀且无孔的填充，以提供有效的隔离保护，已成为亟待解决的问题。为了满足这一需求，HDPCVD设备已成为介质薄膜沉积工艺的关